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紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求。
高气流量和高抽速。
可任意角度安装。
防护等级IP54符合工业环境应用要求。
可应用于腐蚀性气体工况。
SEMI S2 和 UL认证。
完整的配件系统扩展了潜在客户的需求。
更长时间维护保养时间。
可现场更换轴承。
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Bearing 轴承 |
Hybrid |
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Compression ratio for Ar 氩气压缩比 |
> 1 · 1011 |
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Compression ratio for H2 氢气压缩比 |
1.4 · 105 |
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Compression ratio for He 氦气压缩比 |
1.3 · 107 |
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Compression ratio for N2 氮其压缩比 |
> 1 · 1011 |
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Cooling method, optional 冷却方式，选择性 |
Air/water |
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Cooling method, standard 冷却方式，标准 |
Convection |
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Cooling water consumption 冷却水耗量 |
75 l/h |
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Cooling water temperature 冷却水温度 |
5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K |
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Electronic drive unit 控制器 |
with TC 110 |
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Flange (in) 法兰（进） |
DN 63 ISO-K |
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Flange (out) 法兰（出） |
DN 16 ISO-KF / G 1/4" |
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Fore-vacuum max. for N2 氮气最大前级真空 |
22 hPa | 16.5 Torr | 22 mbar |
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Gas throughput at full rotational speed for Ar 氩气全转速时的气流量 |
0.54 hPa l/s | 0.4 Torr l/s | 0.54 mbar l/s |
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Gas throughput at full rotational speed for H2 氢气全转速时的气流量 |
15.3 hPa l/s | 11.48 Torr l/s | 15.3 mbar l/s |
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Gas throughput at full rotational speed for He 氦气全转速时的气流量 |
2.7 hPa l/s | 2.02 Torr l/s | 2.7 mbar l/s |
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Gas throughput at full rotational speed for N2 氮气全转速时的气流量 |
1.3 hPa l/s | 0.98 Torr l/s | 1.3 mbar l/s |
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Interfaces 接口 |
RS-485, Remote |
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Mounting orientation 安装方向 |
in any orientation |
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Operating voltage 运行电压 |
24 (± 5 %) V DC |
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Permissible magnetic field max. 容许的最大磁场 |
3.3 mT |
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Protection category 防腐等级 |
IP 54 |
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Pumping speed for Ar 氩气抽速 |
66 l/s |
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Pumping speed for H2 氢气抽速 |
48 l/s |
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Pumping speed for He 氦气抽速 |
58 l/s |
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Pumping speed for N2 氮气抽速 |
67 l/s |
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Rotation speed ± 2 % 旋转速度 ± 2 % |
90000 min-1 |
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Rotation speed variable 可变旋转速度 |
50-100 % |
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Run-up time 启动时间 |
1.7 min |
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Sound pressure level 声压级 |
≤ 48 dB (A) |
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Ultimate pressure according to PNEUROP 根据PNEUROP的极限压力 |
< 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar |
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Venting connection 排气连接件 |
G 1/8" |
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Weight 重量 |
2.4 kg | 5.29 lb |
Pfeiffer vacuum涡轮分子泵 Hipace80尺寸
Pfeiffer vacuum涡轮分子泵Hipace80抽速
